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        “您放心，存储芯片这块，刻蚀机比光刻机更重要，只要有中微在，长江存储暂时非常安全，至于光刻机，微电子已经造出90n的光刻机，复芯、长江存储采购了4台。”

        陆飞伸出了四根手指，“而且中微现在也上马了光刻机项目，正在攻克90n。”

        “你们还准备研发光刻机？”

        沙领导不由一惊。

        尹志尧回答说：“已经按照陆总的要求，和中电科、春城光机、华为、中芯等单位建立合作关系，成立光刻机联合攻坚联盟。”

        “嘿嘿，其实我们只是配合。”

        尹志尧一五一十汇报，上头在“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项中，把euv光刻技术列为“32-22n装备技术前瞻性研究”重要攻关任务，春城光机作为牵头单位，虽然有中科院、沪市光学精密机械研究所等科研单位技术支持，但仍然势单力薄。

        尤其是，只恨财力不足！

        “所以我拉上了中电科、华为、中芯。”

        陆飞语气坚定，“光刻机从前国内一直以来只有微电子一家，跟集美日欧韩产业链于一体的amsl，不光体量上，数量上就不是一个级别，绝对不能让微电子孤军作战。”

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